EUV-Strahlung zu erzeugen, ist extrem ineffizient. Ein neuer Festkörperlaser soll Abhilfe schaffen, er ist auch für ...

LIVERMORE, Kalifornien (IT-Times) - Ein US-Forschungsinstitut will mit Hilfe von Lasertechnologie die Extreme Ultra Violett ...

LIVERMORE, Kalifornien (IT-Times) - Ein US-Forschungsinstitut will mit Hilfe von Lasertechnologie die Extreme Ultra Violett (EUV)-Effizienz steigern und meldet nun einen Durchbruch in der ...

美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)正致力于研发一种革命性的激光器——拍瓦级(petawatt-class)铥激光器(thulium laser)，其效率远超传统的CO2 EUV激光器，高达10倍之多，为下一代EUV光刻技术的突破奠定了坚实基础。

1月6日消息，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发出了一种名称为大孔径铥 （BAT） 激光器，旨在为极紫外 （EUV） 光刻技术的下一步发展奠定基础。该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳（CO2）激光器 ...

在半导体制造领域，极紫外光刻（EUV）技术一直是推动芯片制造先进工艺发展的关键。然而，当前的EUV光刻系统面临着能耗高、成本昂贵等问题。近日，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布正在研发一种基于铥元素的拍瓦级（petawatt-class）铥 ...

1月6日消息，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发出了一种名称为大孔径铥 （BAT） 激光器，旨在为极紫外 （EUV） 光刻技术的下一步发展奠定基础。该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳（CO2）激光器的 10 ...

据报道，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室正在研发一种拍瓦级（petawatt-class）铥激光器（thulium laser），据说其效率比 EUV 工具中使用的二氧化碳激光器高 10 倍，并且可以在未来许多年内取代光刻系统中的二氧化碳激光器。

具体来说，ASML EUV光刻机的光源分为两个部分：第一个部分就是通快集团供应的30KW二氧化碳激光器，也称之为“drive laser”，其主要作用就是提供 ...