证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯动联科（688582）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS器件的应力隔离封装结构”，专利申请号为 ...

本工作提出一种大光学孔径(镜面直径5mm)、结构紧凑(整个芯片边长10mm)，双轴都能够实现100°以上超大光学扫描角的压电驱动MEMS微镜(图1)。为了实现超大转角，本工作分别从结构设计、工艺、封装、控制方法四个方面进行了优化。 (1) 结构设计方面，采用应力匀散 ...

微机电系统(MEMS)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。MEMS传感器是MEMS技术的一个应用，它们是利用微电子和微机械加工技术制造出来的 ...

MEMS微镜凭借在众多领域的应用，近些年在科研及光学产业吸引了极高的关注。MEMS微镜的应用范围非常广，包括共聚焦显微镜、投影显示、光学相干断层扫描（OCT）、激光雷达（LiDAR）、3D扫描仪、光开关、光谱仪以及医学成像等。MEMS扫描器已成功取代OCT和共聚焦 ...

对于 MEMS 技术，很多朋友是比较熟悉的。但是，同样有些朋友对 MEMS 技术并不了解。为增进大家对 MEMS 技术的了解，本文首先将对 MEMS 技术基础予以介绍，然后小编将带大家看看汽车上有哪些 MEMS 应用。 一、MEMS 技术基础 MEMS 技术的目标是通过系统的微型化 ...