半导体行业在芯片制程工艺中，因其不间断使用有机溶剂和酸溶液直接产生了大量的有毒有害的废气。比如在硅料清洗环节，所用的清洗液（酸、碱、有机溶剂）各不相同，吹干后就会产生大量氮氧化物（主要为NO、NO2、N2O3、N2O4、N2O5等），在空气中被氧化成 ...