并由美国组建的技术联盟EUV LLC攻克了光源、抗蚀剂、防护膜上的三大难题。之后，ASML牵头联合了多所大学、研究所和技术公司，推进EUV光刻机的产出。
并由美国组建的技术联盟EUV LLC攻克了光源、抗蚀剂、防护膜上的三大难题。之后，ASML牵头联合了多所大学、研究所和技术公司，推进EUV光刻机的产出。Rapidus此次引入的EUV光刻机是ASML TWINSCAN NXE ...
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