这一创新的微机电系统（MEMS）专利，致力于解决封装应力对频率偏移的影响，为微电子产业的进一步发展提供了有力的技术支持。 微机电系统的设计核心 根据专利的摘要，麦斯塔微电子所设计的微机电系统主要包括引线框架、集成电路芯片（IC芯片）、微机电 ...