并由美国组建的技术联盟EUV LLC攻克了光源、抗蚀剂、防护膜上的三大难题。之后,ASML牵头联合了多所大学、研究所和技术公司,推进EUV光刻机的产出。
ASML是目前全球唯一的EUV光刻机供应商,其EUV光刻机技术最早由英特尔提出,并由美国组建的技术联盟EUV LLC攻克了光源、抗蚀剂、防护膜上的三大难题。之后,ASML牵头联合了多所大学、研究所和技术公司,推进EUV光刻机的产出。Rapidus此次引入的EUV光刻机是ASML ...
在半导体制造行业,DUV(深紫外)光刻机可以用于制造7nm及以上工艺的芯片,涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片,而ASML则凭借着对EUV光刻机和浸润式DUV光刻机的垄断,掌控着全球几乎所有晶圆厂的芯片制造命脉。 2024年4月,克里斯托夫·富凯(Christophe ...
近日据芯智讯报道,俄罗斯自研出EUV光刻机。这一重大突破或将打破ASML在该领域的技术垄断,为全球半导体产业带来新的变革。 EUV光刻机是制造 ...
他认为,美国政府祭出的禁止EUV出口中国大陆禁令确实有效,让中国落后西方约15 年。儘管传出中芯国际曾订购一台EUV设备,但ASML为遵守国际出口 ...
12月21日消息,据Cnews报导,俄罗斯已公布自主研发的光刻机路线图,目标是打造比ASML系统更经济的EUV光刻机。这些光刻机将采用波长为11.2nm的镭射 ...
Rapidus公司成为日本首家获得极紫外(EUV)光刻设备的半导体公司,这也是日本首次引入量产用EUV光刻设备。 Rapidus的会长东哲郎表达了对Rapidus即将启动的2nm试产线的坚定信心,将在2025年4月启动实际生产2纳米半导体的试产线..... 近日,日本半导体行业正在迎来 ...
快科技12月19日消息,据报道,俄罗斯已公布自主开发EUV(极紫外光刻)光刻机的路线图,目标是比ASML的光刻机更便宜、更容易制造。 据悉 ...